在所有條件下出色的壓力控制和隔離

61.6高壓控制蝶閥具有 的壓力控制和隔離性能。憑借其快速精確的動(dòng)作控制器（0.45秒），它是CVD工藝中精細(xì)控制和隔離的 解決方案。該板起到節(jié)流元件的作用，并改變閥門開(kāi)口的傳導(dǎo)率。61.6的集成壓力控制器計(jì)算所需的板位置，以盡可能快地達(dá)到設(shè)定壓力。



61.6系列隔離功能是專門設(shè)計(jì)的，以避免蝶閥 的較高密封磨損。由于它偏離了中心板軸，閥體和密封座的特殊幾何形狀，密封摩擦最小化，密封性能提高。



61.6系列已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)千個(gè)苛刻的應(yīng)用中，證明了其 可靠性。采用堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和直接安裝選項(xiàng)

可靠的高速保護(hù)

現(xiàn)代切斷閥的主要要求是其在任何回流事件中都能可靠、快速地進(jìn)行緊急隔離。25.7設(shè)計(jì)用于提供靈敏、高速的隔離功能，可靠地防止回流到工藝室或管道系統(tǒng)中的風(fēng)險(xiǎn)。



25.7 HV快速切斷閥采用流量控制。無(wú)任何子系統(tǒng)（傳感器和執(zhí)行器）的直接操作設(shè)計(jì)提供了低復(fù)雜性和低故障風(fēng)險(xiǎn)的高速隔離。從最初的回流脈沖到 隔離不到10毫秒，25.7 于同類產(chǎn)品。



作為一種安 方案，理想情況下，截止閥應(yīng)不為系統(tǒng)增加電導(dǎo)屏障。25.7的特殊流量?jī)?yōu)化設(shè)計(jì)在這方面樹(shù)立了標(biāo)準(zhǔn)，在高電導(dǎo)和快速隔離之間實(shí)現(xiàn)了 平衡。



當(dāng)用于氣流中含有副產(chǎn)品的工藝時(shí)，例如前級(jí)管線應(yīng)用，快速?zèng)_洗上的任何污染物積聚